潔凈棚的測量標(biāo)準(zhǔn)通常包括以下幾個方面:
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潔凈度:根據(jù)ISO 14644標(biāo)準(zhǔn),潔凈棚內(nèi)的空氣顆粒濃度需達(dá)到特定等級(如ISO 5級、ISO 6級等),通常使用塵埃粒子計(jì)數(shù)器測量。
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氣流速度:潔凈棚內(nèi)的氣流速度需保持均勻,通常在0.2-0.5 m/s之間,使用風(fēng)速儀測量。
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壓差:潔凈棚內(nèi)外壓差需符合設(shè)計(jì)要求,通常為10-30 Pa,使用壓差計(jì)測量。
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泄漏測試:潔凈棚的密封性需通過泄漏測試,確保無外部污染物進(jìn)入,通常使用煙霧發(fā)生器或示蹤氣體檢測。
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溫濕度:根據(jù)使用需求,潔凈棚內(nèi)的溫濕度需控制在特定范圍內(nèi),使用溫濕度傳感器測量。
這些標(biāo)準(zhǔn)確保潔凈棚的環(huán)境符合生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)要求。